作为巴黎奥运会门票争夺赛的世锦赛，高手云集，竞争惨烈。四分之一决赛，曹利国遭遇2021年东京奥运会亚军、3届世锦赛冠军日本选手文田健一郎，以1∶3的比分不敌对手。由于后者进入了冠亚军争夺战，曹利国获得复活赛资格。在复活赛中，他以9∶7的比分淘汰2021年世锦赛冠军、摩尔多瓦选手乔巴努，闯入季军争夺战，对手是亚美尼亚选手加里比扬。开局对方消极被判跪撑，曹利国抓住机会先得3分。下半场比赛，曹利国被判消极，比分来到3∶3。距离比赛结束不到一分钟时，双方仍在僵持。在对手后得分的不利情况下，曹利国仍努力找机会进攻。比赛仅剩最后2秒时，曹利国一记转移得分，绝杀对手，以5∶3拿下铜牌，获得直通巴黎奥运会的资格。同时，这枚铜牌也是广西古典摔跤在世锦赛上获得的首枚奖牌。

在结束世锦赛之旅后，曹利国将跟随国家队马不停蹄地转战杭州亚运会。“在小级别古典式摔跤方面，亚运会其实比世锦赛还难打。”广西重竞技运动发展中心古典式摔跤主教练易善军表示，小级别古典式摔跤世界排名前六的选手基本都在亚洲，可以说亚洲水平就是奥运会水平。因此，此次亚运会之旅，曹利国将面临更大的挑战。“这次亚运会，大家水平都很接近，要想取得好成绩，就看谁更敢想、敢拼，少犯错误。这几年曹利国进步很大，希望他在比赛中继续放手去拼，拼出一个好成绩。”

据介绍，曹利国将于10月4日出战杭州亚运会男子古典跤60公斤级的比赛。

《阿尔比恩Online》最初于2017年7月17日在PC、Mac和Linux平台发布，随后于2021年6月9日登陆iOS和安卓平台。

《阿尔比恩OL》是一款中世纪欧洲魔幻风格的开放世界沙盒大型多人在线角色扮演游戏。其经济系统由玩家驱动，几乎所有物品均由玩家制造。游戏另辟蹊径，采用“人靠装备”系统代替职业系统，玩家可以根据自己的游戏风格，自由搭配护具装备和武器。快来探索这片广袤的土地，踏上另一条冒险之路，投身惊心动魄的战役，征服各处领地，开辟一片家园。

从基本的工具和服饰到强大的护甲和无坚不摧的武器，游戏里的所有物品几乎都是由玩家制造。不仅如此，玩家还能收集各种资源材料，建造建筑物，在整个阿尔比恩世界的集市里与其他玩家进行购买、出售物品的交易。在这个游戏里，你可以制造效力强劲的物品，出售给拍卖出价最高的玩家，成为游戏里财力雄厚的一方。

《阿尔比恩OL》的战斗系统不分职业，你身上所穿的装备将决定你的游戏风格。你的战斗技能取决于身上穿戴的护甲和装备的武器，切换装备即可切换战斗玩法。你可以随时尝试新的装备，按具体情况更换武器、护具和坐骑。如想磨练角色的技巧，可以制造新物品，又或者直接换上你最喜欢的装备。

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

　　颁奖晚会在《四郎探母・坐宫》中拉开序幕，从《闹龙宫》的灵动翻跃，到跨洋而来的《贵妃醉酒》，小选手们韵味悠长的曲调、生动细腻的表演，让观众大饱耳福眼福。

　　据了解，此次赛事共有全国17省市、港澳台地区，以及加拿大的132个节目同场角逐。最终评选出一等奖8名、二等奖12名、三等奖18名。

　　“程长庚是从潜山走出去的具有世界影响的伟大艺术家。今年也是徽班进京235周年，在先生的家乡举办少儿京剧票友大赛，不仅是对历史的深情回望，更是对“徽班精神”的当代表达。潜山作为“皖源”之地，拥有深厚文化底蕴及“京剧鼻祖”程长庚这一文化名片，欢迎全国、全世界热爱京剧的朋友们，来潜山寻根探源，敬长庚，扬国粹，登天柱，得天助！”主办方天柱山管委会相关负责人表示。（余雪峰）